随着世界经济逐步回暖,电子专用设备仪器业企稳回升,实 现了生产、销售和经济效益总体平稳增长的态势。 据统计,“十一五”期间我国电子专用设备销售收入年 均增长率为20%,从2005年的783亿元增长到超过1987亿 元,电子专用设备工业协会统计的行业骨干企业年均增长率 为25%,从527亿元增长到1606亿元。统计数据表明,十 一五ˆ期间我国电子仪器规模以上企业年均增长19%,到”十 一五”末实现销售收入940亿元。五年间,电子专用设备仪 器产品中太阳能光伏设备以及元器件参数测量仪器、超低频 测量仪器等保持了较大幅度的增长。 (二)重点产业领域取得较大成绩 十—五”期间,国家科技重大专项围绕光刻机、刻蚀 机、65纳米制造工艺、先进封装设备等重点任务,集中资源 重点投入,取得很大进展。北方微电子及上海中微公司2种 12英寸65纳米刻蚀机产品样机已进入大生产线进行考核验 证;上海微电子公司封装光刻机已进入长电科技考核测试; 七星华创12英寸氧化炉已进入大线测试;中科信12英寸离 子注入机已完成3台样机组装,正在进行测试。多种12英 寸关键设备陆续进入大生产线考核验证,标志着我国集成电 路设备产业已初步形成产业化发展态势。 十—五”期间新兴产业的发展,为电子专用设备产业 带来了良好的发展契机。尤其是我国晶硅太阳能电池设备年2 随着世界经济逐步回暖，电子专用设备仪器业企稳回升，实 现了生产、销售和经济效益总体平稳增长的态势。 据统计，“十一五”期间我国电子专用设备销售收入年 均增长率为 20%，从 2005 年的 783 亿元增长到超过 1987 亿 元，电子专用设备工业协会统计的行业骨干企业年均增长率 为 25%，从 52.7 亿元增长到 160.6 亿元。统计数据表明，“十 一五”期间我国电子仪器规模以上企业年均增长 19％，到“十 一五”末实现销售收入 940 亿元。五年间，电子专用设备仪 器产品中太阳能光伏设备以及元器件参数测量仪器、超低频 测量仪器等保持了较大幅度的增长。 （二）重点产业领域取得较大成绩 “十一五”期间，国家科技重大专项围绕光刻机、刻蚀 机、65 纳米制造工艺、先进封装设备等重点任务，集中资源 重点投入，取得很大进展。北方微电子及上海中微公司 2 种 12 英寸 65 纳米刻蚀机产品样机已进入大生产线进行考核验 证；上海微电子公司封装光刻机已进入长电科技考核测试； 七星华创 12 英寸氧化炉已进入大线测试；中科信 12 英寸离 子注入机已完成 3 台样机组装，正在进行测试。多种 12 英 寸关键设备陆续进入大生产线考核验证，标志着我国集成电 路设备产业已初步形成产业化发展态势。 “十一五”期间新兴产业的发展，为电子专用设备产业 带来了良好的发展契机。尤其是我国晶硅太阳能电池设备年