第一章半导体产业介绍 ·概述 微电子从40年代末的第一只晶体管(Ge合金管) 问世,50年代中期出现了硅平面工艺,此工艺不 仅成为硅晶体管的基本制造工艺,也使得将多个 分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为 可能,随着制造工艺水平的不断成熟,使微电子 从单只晶体管发展到今天的USI。 回顾发展历史,微电子技术的发展不外乎包括 两个方面:制造工艺和电路设计,而这两个又是 相互相成,互相促进,共同发展。第一章 半导体产业介绍 • 概述 微电子从40年代末的第一只晶体管（Ge合金管） 问世，50年代中期出现了硅平面工艺，此工艺不 仅成为硅晶体管的基本制造工艺，也使得将多个 分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为 可能，随着制造工艺水平的不断成熟， 使微电子 从单只晶体管发展到今天的ULSI。 回顾发展历史，微电子技术的发展不外乎包括 两个方面：制造工艺和电路设计，而这两个又是 相互相成，互相促进，共同发展