21引 2.1引言 电子像分辨本领可达 几告到几十万倍) 且连续可调： 动态观察) 利W州季场工泉季离 2SE的和工作原理 22SEM的构造和工作原理 22.1SE的结 子格 子 © 2.2S的构造和工作原理 © 2.2S的构造和工作原理 2,21SEM的结构 (4电子光学系统 用阴与阳灯丝可的高压产生高能士的 扫电6.信处理，像显示和记录系 、。,真空系熊 电子光系（ 用作格货八 电子枪的类型• • • • 2.1 • SEM X WDX X EDX • 2.1 2.2.1 SEM 2.2 SEM 1 5 2.2 SEM 2.2.1 SEM 1 7 1 8