不利。工件经镀镍后入炉进行沉袂。 2.纯NH,的制备：选用不含氧的分析纯卤化铵（如NH,C1)为原料加入某些物质粉 末以消除NH,C1热分解时产生的HCI而又不生成水分。这些物质的用量与NH,C1的重 量相等。二者混合均匀后加热到90°C就可得到高纯氨。无这些物质时NH,C1分解温度要 达到300°C以上。所得的高纯氨中经分析不含C1。因为原料本身不含氧，只要载气经过有 效的净化处理就能满足气相沉积的要求。使用时的分解温度为180~220°C,以硝盐一亚硝 盐浴作为NH,CI加热分解时的加热介质。所得氨气用载气载人炉内。 3.沉积工艺：在通人载气时把样品加热到预定的沉积温度，保温半小时以去除样品表 面可能存在的氧化膜。然后分别载人NH,与TiCl4。NH,流量为15~20ml/min,TiCl 流量为6~8ml/min,载气为H2:Nz=3:1的混合气，总流量为300ml/min,在450° ±10°C时可得金黄色的T1N涂层，实际处理温度用550°±10°C。选这个温度是因为它低 于高速钢的回火温度，高速钢工件若在更高温度下进行沉积，则沉积后还必须经过淬火处 理。总共沉积4小时，再保温3~4小时，以使TiNC1全部转化成TN。此后停温出炉。 结果与讨论 1.经过低温化学气相沉积TiN的样品，用X射线衍射分析证明表层为TiN(见图2)。 TiN 图2 179不利 。 工件经镀镍后人炉进行沉 积 。 纯 的制备 选 用不含氧的 分析纯卤化按 如 付 巧 为原料加入某 些 物 质粉 末以 消除 ‘ 热 分解 时产生的 而又不 生成水分 。 这些物质 的 用 量 与 的 重 量相 等 。 二者混合 均匀后加热到 就可 得到 高纯 氨 。 无 这些 物质时 ‘ 分 解 温度 要 达到 。 。 。 以上 。 所得 的高纯 氨中经分析不 含 一 。 因 为原料本身不含氧 ， 只 要载气 经过有 效的 净化处理就能 满足气相沉 积的要求 。 使用 时的 分解温度 为 ， 以硝盐一亚 硝 盐浴作 为 ‘ 加热分解 时的 加热 介质 。 所得 氨气用载气载入 炉 内 。 沉 积工 艺 在通 人载气时把样品 加热到预定 的沉 积温度 ， 保温 半小时以去除样品表 面可能 存在 的 氧化膜 。 然 后 分别 载人 与 。 流 量 为 ， 流量 为 ， 载气 为 ， 的 混合气 ， 总 流量 为 ， 在 。 士 。 。 时可得 金黄色的 涂层 ， 实际 处理温度用 。 士 “ 。 选 这 个温度是因 为 它 低 于高速钢 的 回 火温度 ， 高速钢工 件若在更高温度下进 行沉 积 ， 则沉积 后还必 须经过淬火处 理 。 总共沉 积 小时 ， 再保温 小 时 ， 以使 全部转化成 。 此 后停温 出 炉 。 结 果 与 讨 论 经过低温 化学气相沉积 的样品 ， 用 射线衍射分析证明表层 为 见图 。 图