三、高效过滤器的检漏 今对于洁净室尤其是较高级别的洁净室只有 确认了高效过滤器没有泄漏,洁净室粒子 测定结果才有意义。 今通常高效过滤器的205m粒子的穿透率应 ≤0.00001。 今高效过滤器检漏主要采用气溶胶光度计法, 又称检漏仪法,还有粒子计数器法。三、高效过滤器的检漏 ❖ 对于洁净室尤其是较高级别的洁净室只有 确认了高效过滤器没有泄漏，洁净室粒子 测定结果才有意义。 ❖ 通常高效过滤器的≥0.5µm粒子的穿透率应 ≤0.00001。 ❖ 高效过滤器检漏主要采用气溶胶光度计法， 又称检漏仪法，还有粒子计数器法