6.1.3、定量精确度和误差来源 使用原子灵敏度因子法进行定量分析： 戴税 套离手普零盘定薪泰夏盒克物，报 以XPS弱峰、（其峰强度为最强峰的10-20%)的定量 精确度是甚真值的60-80%，并依赖于改善信菜比 的努方程度。 正确报 定量果 98%。 盆唪凭量莜蠢类耗鬆翥昊絞屡看孱鬍窿因子的最 中国斜草投术大室 niverstty of Science and Technology of China6.1.3、定量精确度和误差来源 使用原子灵敏度因子法进行定量分析：  在优化条件下，对每个主峰从ＸＰＳ主峰计算的 原子百分数值的定量精确度为 90-95%。若使用高 水平质量控制规程，精确度能进一步改善。  在常规工作条件下，材料表面混合有污染物，报 告的原子百分数值定量精确度为80%~90%。  以XPS弱峰（其峰强度为最强峰的10-20%）的定量 精确度是其真值的 60-80%，并依赖于改善信噪比 的努力程度。  定量精密度（重复测量并得到相同结果的能力） 是正确报告定量结果的基本考量。95%的置信度是 可认为有效的。XPS在一般情形下定量精密度优于 98%。  对于任一元素选择具有最大原子灵敏度因子的最 强峰定量以最大化检测灵敏度和精确度。 1 1 3