9.3.3实验室的环境条件 空气清洁度的分类 痕量和超痕量分析及某些高 灵敏度的仪器，应在超净实 清洁度 工作面上最大污染颗粒数 颗粒直径 分类 /(颗粒m2 /um 验室中进行或使用。超净实 100 ≥0.5 100 0 ≥5.0 验室中空气清洁度常采用100 10000 ≥0.5 号。这种清洁度是根据悬浮 10000 65 ≥5.0 固体颗粒的大小和数量多少 100000 20.5 100000 分类的。具体见表P515。 700 ≥5.09.3.3实验室的环境条件 痕量和超痕量分析及某些高 灵敏度的仪器，应在超净实 验室中进行或使用。超净实 验室中空气清洁度常采用100 号。这种清洁度是根据悬浮 固体颗粒的大小和数量多少 分类的。具体见表P515。 清洁度 分类 工作面上最大污染颗粒数 / (颗粒·m-2 ) 颗粒直径 /μm 100 100 ≥0.5 0 ≥5.0 10 000 10 000 ≥0.5 65 ≥5.0 100 000 100 000 ≥0.5 700 ≥5.0 空气清洁度的分类