VoL22 No.3 毛卫民等：CVD金刚石薄膜的织构分析 ·261· 分布函数利用三维空间来描述织构，极图也是 参考文献 利用二维空间分析织构.而单点衍射的空间是 1 Sussmann R S.A New Diamond Material for Optics and 零维，因而在可靠性和科学性上均有不足之处 Electronics.Industrial Diamond Review,1992,53(2):63 ,也不便作更深入、精确的分析，因此应注重 2 Narayan J,SrivatsaAR,Peters M,et al.On Epitaxial Gro- 利用现代织构分析方法来研究金刚石薄膜的织 wth of Diamond Films on(100)Silicon Substrates.Appl 构问题. Phy Lett1988,53:1823 3 KobashiK,Nishimura K,Kawate Y,et al.Synthesis of Dia- 111} mond by Use of Microwave Plasma Chemical-vapor De- {220} position:Morphology and Growth of Diamond Film,Phys 650° {113} Rew,B38:4067 4 Geis M W.Growth of Textured Diamond Films on Foreign Substrates from Attached Seed Crystals.Appl Phys Lett, 750° 1989,55:550 5 Wild Ch,Herres N,Koidi P.Texture Formation in Pol- 900° ycrystalline Diamond Films,J Appl Phys,1990,68:973 6 Bachmann P K,Bausen H D,Lade H,et al.Raman and X- 6) ray Studies of Polycrystalline CVD Diamond Films.Dia- 图5村底温度对金刚石薄膜衍射强度的影响 mond and Related Materials,1994,3:1308 Fig.5 Influence of substrate temperature on the diffraction 7 Fayette L,Mermoux M,Marcus B,et al.Analysis of the density of diamond thin films Fine Structure of the Raman Line and of X-ray Reflection Profiles for Textured CVD Diamond Films.Diamond and Floter等人的研究发现四，晶界对电子移动 Related Materials,1995,4:1243 和光线传导均具有阻碍作用，且这种作用和晶 8 Bunge H J.General Outline and Series Expansion Method. 界的取向差有一定关系.但是总体来讲，金刚石 In:Bunge H J and Esling C eds.Quantitative Texture Analy- 薄膜织构与性能关系尚没有系统深入的研究， sis.Oberursel:DGM-Informationsgesellschaft,1981.1 相关的工作有待开展. 9 Choi S J,Shin Y S,In:Txeng Y,et al eds.The Orientation of Diamond Crystal Face Synthesized by the Combustion 3总结 Flame Method,Applications of Diamond Films and Re- lated Materials.New York:Elserier SciencePublishers, CVD金刚石薄膜中会有不同类型的织构. 1991.527 织构的形成与制备工艺条件密切相关.借助极 10毛卫民，张新明.晶体材料织构定量分析北京：治金 图和取向分布函数的方法可以深入探讨织构的 工业出版社，1995.1 11 Floter A,Gatter H,Schulz G,et al.The Nucleation and Gro- 形成过程和相关原理.分析表明，{110}面织构 wth of Large Area Highly Oriented Diamond Films on Sili- 应有更高的出现概率，{100}平行于表面晶粒在 con Substrates.Diamond and Related Materials,1998,7: 生长过程中出现的李晶造成了{221}面织构.织 283 构与性能关系的研究尚待深入开展， Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films LA0 Weimin”, CHEN Nan'2 1)Materials Science and Engineering School,UST Beijing,Beijing 100083,China 2)Department of Materials Science and Engineering,University of Petroleum,Beijing 102200,China ABSTRACT Different textures of CVD diamond thin films are analyzed using the methods of pole figure and orientation distribution function.It is shown that the higher multiplicity leads to the higher appearance possibility of {110)fiber texture.The formation mechanism of (221)fiber texture by means of twinning effect is discussed.The importance of the systematic investigation on the relationship between textures and properties is emphasized,and the advanced methods for texture analysis are recommended. KEY WORDS diamond thin film;fiber texture;CVD;texture formation】 毛 卫 民等 金刚石 薄膜的织构分析 分布 函数 利用 三维 空 间 来 描 述 织 构 ， 极 图也 是 利用二 维空 间分析织 构 而 单 点衍 射 的空 间是 零 维 ， 因而 在 可 靠 性 和 科学性 上 均 有 不 足 之 处 ， 也 不 便作更深 入 、 精确 的分析 ， 因此应注 重 利用现代织 构分 析方 法来研究金 刚石 薄膜 的织 构 问题 厦 一一 些竺一一办 毛 侧 燕 曰川︹人· 一 一 － － 一 一 图 衬底温度对金刚石薄膜衍射强度的影晌 哈 加 碑 计 加 优 等人 的研 究发现 〔，’ ， 晶界对 电子 移 动 和 光 线传 导均 具 有 阻碍 作 用 ， 且这 种作 用和 晶 界 的取 向差 有一 定关系 但是 总体来讲 ， 金 刚石 薄膜 织构 与 性 能 关 系 尚没 有 系统 深 入 的研 究 ， 相 关 的工 作有 待开 展 总结 金 刚 石 薄膜 中会 有 不 同类 型 的织 构 织构 的形 成 与制备 工 艺条件密 切 相 关 借助 极 图和 取 向分布 函 数 的方 法 可 以深 入探讨织 构 的 形 成 过程 和 相 关 原 理 分析表 明 ， 毛 面织 构 应有 更 高 的 出现概率 ， 平 行 于表面 晶粒在 生 长 过程 中 出现 的孪 晶造成 了 面织构 织 构与性 能关系 的研 究 尚待深 入 开 展 参 考 文 献 ， ， ， 刽 凡 城 以 喊 甘 ， ， ， 加 ， ， 一 ， 奴 加 玲 ， ， ， ， ， ， ， ， ， ， 叮 毗 ， ， 盯比 ， ， ， 甘 助 ， ， · 六刀 一 几 ， ， ， 厅 即 泳 代 ， 毛 卫 民 ， 张新 明 晶体材料织构定 量 分析 北京 冶金 工 业 出版社 ， ， ， ， 〕 廿 助 咖 ， ， 奴 人侧口 环乞 ， 〔巧咙万 刀 ，夕 山 ， ， 七 ， 苗 日 ， ， 笼 仪甘 叮 阳 丘 场” 五悦 咖 价双 货 而 比切 也 七刀 训，涌 返 氏 胡 以如 奴址 盆卫 五忱 甘