第11页 2.1X射线物理 1.在目前的商业化仪器中，XPS的靶材一般采用AMg双阳极靶， 这样可以根据分析需要来进行选择，由A靶产生的AIK射线光 子的能量为1486.6eV,MgKa为1253.6eV。另外，还有选用Ti 的Ko射线作为光源，其光子能量为2040eV; 2.作为XPS的激发源，要求其具有光强强、单色性好的特点。X射 线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高，因此，一般说来， 高精度XPS系统中会自带一套单色光源，比如，单色AIK0源； 3.选择什么样的X射线作为光源取决于具体的分析对象，因此，不 存在哪种光源好或不好的问题，实际操作中，经常会为了提高读 潜的准确性，连续采用两种或两种以上光源的情况。 第 11 页 2.1 X射线物理 1. 在目前的商业化仪器中， XPS的靶材一般采用Al/Mg双阳极靶， 这样可以根据分析需要来进行选择，由Al靶产生的Al K射线光 子的能量为1486.6 eV，Mg K为1253.6 eV。另外，还有选用Ti 的K射线作为光源，其光子能量为2040 eV； 2. 作为XPS的激发源，要求其具有光强强、单色性好的特点。X射 线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高，因此，一般说来， 高精度XPS系统中会自带一套单色光源，比如，单色Al K源； 3. 选择什么样的X射线作为光源取决于具体的分析对象，因此，不 存在哪种光源好或不好的问题，实际操作中，经常会为了提高读 谱的准确性，连续采用两种或两种以上光源的情况