材料工程导论1课程论文 F11051015110309066孙鑫字 2.2电子信息产业发展的需求促进材料工程的发展 对技术的需求会促进技术的发展。对于本文所研究的话题而言，电子信息产 业发展的需求促进材料工程的发展。 例如，美国国防部预测，今后20年材料界将面临严峻的挑战和巨大的机遇。 挑战来自冷战结束后国防需求的重大变化以及电子与计算技术快速发展的推动 力。在今后20一25年内，产品的性能、寿命周期和可维护性指标将翻一番，对 可生产性、成本和可用性的要求比目前提高一倍。电子材料、光电子材料、光子 材料、微系统材料、以及功能有机与混杂材料的进展将是开发武器系统新能力的 基本推动因素之一。美国对半导体材料、光子材料、光电子材料、纳米材料、生 化材料、功能有机与混杂材料以及信息功能材料等电子信息材料都制定了发展目 标。 再例，集成电路的总发展趋势：高集成度、微型化、高速度、低功耗、高灵 敏度、低噪声、高可靠、长寿命、多功能。为了达到上述目标，有赖于外延技术 (VPE,LPE,MOCVD及MBE)的发展，同时对硅单晶的要求也愈来愈高。 表2为集成电路的发展对材料质量的要求。 表2集成电路发展对材料质量的要求 首批产品出现年代 1999 2002 2005 2008 工艺水平（μm) 0.18 0.13 0.10 0.07 DRAM 256M 1G 4G 16G 硅片直径(mm) 200 300 300 450 表面关键杂质(At/cm2)(10) ≤13 ≤7.5 ≤5 ≤2.5 局部平坦度(nm) ≤180 ≤130 ≤100 ≤100 光散射缺陷（个/cm2) ≤0.29 ≤0.14 ≤0.06 ≤0.03 由表2课件，随着集成电路的发展，其对材料的质量要求越来愈高，势必需 要材料工程技术的进步。 总之，电子信息产业的发展可以促进材料工程的发展。不仅有直接有利于材 料工程的发展，其发展需求也会促进材料工程的发展。 第8页共11页材料工程导论Ⅰ课程论文 F1105101 5110309066 孙鑫宇 第 8 页 共 11 页 2.2 电子信息产业发展的需求促进材料工程的发展 对技术的需求会促进技术的发展。对于本文所研究的话题而言，电子信息产 业发展的需求促进材料工程的发展。 例如，美国国防部预测，今后 20 年材料界将面临严峻的挑战和巨大的机遇。 挑战来自冷战结束后国防需求的重大变化以及电子与计算技术快速发展的推动 力。在今后 20—25 年内，产品的性能、寿命周期和可维护性指标将翻一番，对 可生产性、成本和可用性的要求比目前提高一倍。电子材料、光电子材料、光子 材料、微系统材料、以及功能有机与混杂材料的进展将是开发武器系统新能力的 基本推动因素之一。美国对半导体材料、光子材料、光电子材料、纳米材料、生 化材料、功能有机与混杂材料以及信息功能材料等电子信息材料都制定了发展目 标。[3] 再例，集成电路的总发展趋势：高集成度、微型化、高速度、低功耗、高灵 敏度、低噪声、高可靠、长寿命、多功能。为了达到上述目标，有赖于外延技术 （VPE，LPE，MOCVD 及 MBE）的发展，同时对硅单晶的要求也愈来愈高。 表 2 为集成电路的发展对材料质量的要求。 表 2 集成电路发展对材料质量的要求 首批产品出现年代 1999 2002 2005 2008 工艺水平（m) 0.18 0.13 0.10 0.07 DRAM 256M 1G 4G 16G 硅片直径 (mm) 200 300 300 450 表面关键杂质(At / cm 2) (10 9)  13 7.5 5 2.5 局部平坦度（nm） 180 130 100 100 光散射缺陷(个/ cm2) 0.29 0.14 0.06 0.03 由表 2 课件，随着集成电路的发展，其对材料的质量要求越来愈高，势必需 要材料工程技术的进步。 总之，电子信息产业的发展可以促进材料工程的发展。不仅有直接有利于材 料工程的发展，其发展需求也会促进材料工程的发展