主要内容 超大规模集成导论 缩小到纳米尺度CMOS器件面临的挑战 VLS集成物理 纳米CMOS器件中的栅工程 纳米CMOS器件的沟道工程和超浅结技术 新型纳米CMOS器件• 超大规模集成导论 • 缩小到纳米尺度CMOS器件面临的挑战 • VLSI集成物理 • 纳米CMOS器件中的栅工程 • 纳米CMOS器件的沟道工程和超浅结技术 • 新型纳米CMOS器件