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4、圆光栅: 组成:一对光栅盘: 定光栅、动光栅, 直径、栅距相同 原理: 偏心叠合在一起,产生莫尔条纹; 环形圆光栅 当光栅盘相对转动时,莫尔条纹同步移动。 精度:±0.2”(误差平均效应) 分辨力:±10”、±20” 分类:径向光栅、切向光栅、环形光栅 上泽文大¥ 6 6 4、圆光栅: 组成:一对光栅盘: 定光栅、动光栅, 直径、栅距相同 精度:±0.2" (误差平均效应) 原理:偏心叠合在一起,产生莫尔条纹; 当光栅盘相对转动时,莫尔条纹同步移动。 分辨力:±10"、±20" 分类:径向光栅、切向光栅、环形光栅 环形圆光栅
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