上游充通大兽 扫描电镜利用的主要信号 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 二次电子从表面5一10纳米层内发射出来，能量为0一 50eV。二次电子对表面状态非常敏感，能非常有效地反 映试样表面的形貌。 背散射电子是入射电子经过多次散射后，以较大角度从 固体样品表面逸出的散射电子。背散射电子一般是从试 样0.1一1微米深处发射出来的电子。 入射电子 束 二次电子 俄歇电子 连续X射线 特征X射线 阴极发 背散射电子 光 。试样电流 棋 (吸收电子)扫描电镜利用的主要信号 二次电子从表面5－10纳米层内发射出来，能量为 0－ 50eV。二次电子对表面状态非常敏感，能非常有效地反 映试样表面的形貌。 背散射电子是入射电子经过多次散射后，以较大角度从 固体样品表面逸出的散射电子。背散射电子一般是从试 样 0.1 － 1 微米深处发射出来的电子。 俄歇电子 特征X射线 背散射电子 二次电子 入射电子 束 样 品 试样电流 (吸收电子) 阴极发 光 连续X射线