8.3.2聚苯乙烯薄膜湿敏元件 口原理：用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团，随环境湿 度大小可吸湿或脱湿而引起介电常数的改变。 口制作方法： ① 在玻璃基片上镀上一层铝薄膜作为下电极 ② 用等离子聚合法在铝膜上镀一层0.05μm聚苯乙烯作为电容器的电介质 ③ 再在其上一层多孔金膜做为上电极。 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.2 聚苯乙烯薄膜湿敏元件  原理：用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团，随环境湿 度大小可吸湿或脱湿而引起介电常数的改变。  制作方法： ① 在玻璃基片上镀上一层铝薄膜作为下电极 ② 用等离子聚合法在铝膜上镀一层0.05μm聚苯乙烯作为电容器的电介质 ③ 再在其上一层多孔金膜做为上电极