4.1长度量检测技术 ·4.1.1位移检测技术 电感位传感器、光栅位移传感器、电容式 ·4.1.2距离检测技术 电涡流测距、激光测距、超声测距 ·4.1.3角度检测技术 光电编码器、圆光栅4.1长度量检测技术 • 4.1.1 位移检测技术 电感位传感器、光栅位移传感器、电容式 • 4.1.2 距离检测技术 电涡流测距、激光测距、超声测距 • 4.1.3 角度检测技术 光电编码器、圆光栅