©)变介质型电容传感器 电容： 插入式： C=C+C= EoErbo(。-)+S6Ebl =8e,+(e2-e川 (a) 应用：测量厚度 2)电容传感器特点及应用 特点：分辨力极高（电容值102，相对值100%一200%，位移0.01μm) 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小： 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强 应用：微信息检测--测微仪、；静态测量-金属零件计数 高频信号检测-振动，转速；c) 变介质型电容传感器 电容： 插入式： 应用：测量厚度   = A C [ ( ) ] ( ) 1 0 2 1 0 0 0 0 0 2 0 0 0 1 0 0 1 2 l l b b l l b l C C C r r r r  +  −    =    +    − = + = 2) 电容传感器特点及应用 特点：分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm） 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强 应用：微信息检测---测微仪、； 静态测量---金属零件计数 高频信号检测---振动，转速；