2.扫描电镜的成像原理 电子枪发射出的电子束,经电磁透镜会聚成极细的电子束,并进而聚焦在待测样品表面 由于样品各不同部位的表面形貌不同,入射电子束与样品表面所喷涂的重金属原子相互作用 后所产生的次级电子信号也不同;此次级电子信号为探测器接受后,被转变成光子,传递给 光电倍增管进行放大和转换;转换成的电压信号经扫描线圈扫描后显示在显象管的荧光屏 上 由于扫描线圈在样品上作扫描光栅状的逐点扫描,再加上显象管的偏转线圈电流与扫描 线圈电流高度同步,因此,显象管荧光屏上的任何一点的亮度与样品表面上相应点所发出的 次级电子数均是一一对应的,因此,显示在荧光屏上的图像就是样品表面形貌的真实写照。 综上所述,扫描电镜在结构和工作原理上均不同于透射电镜。如(1)扫描电镜所用样品 的制备方法简便,不需经过超薄切片,经固定、干燥和喷金后即可:(2)扫描电镜采用的是次 级电子成像;(3)扫描电镜所观察到图像景深长,图像富有立体感,但只能反映出样品的表面 形貌;(4)图像的放大倍率在很大范围内是连续可变的(101~105×)(5)样品的辐射损伤及污染 程度小等。但与透射电镜相比,扫描电镜又存在有其不可逾越的局限性,如(1)分辨率还不 够高,(2)无法显示样品内部的详细结构等。为此,近年来出现了一种新的电镜技术冰冻蚀刻 技术( (freeze etching),利用“复膜(replica)”在透射电镜下进行观察,既可观察到样品的内部 结构,又可观察到富有立体感的图像,还提高了分辨率2. 扫描电镜的成像原理 电子枪发射出的电子束，经电磁透镜会聚成极细的电子束，并进而聚焦在待测样品表面； 由于样品各不同部位的表面形貌不同，入射电子束与样品表面所喷涂的重金属原子相互作用 后所产生的次级电子信号也不同; 此次级电子信号为探测器接受后, 被转变成光子，传递给 光电倍增管进行放大和转换；转换成的电压信号经扫描线圈扫描后显示在显象管的荧光屏 上。 由于扫描线圈在样品上作扫描光栅状的逐点扫描，再加上显象管的偏转线圈电流与扫描 线圈电流高度同步，因此，显象管荧光屏上的任何一点的亮度与样品表面上相应点所发出的 次级电子数均是一一对应的，因此，显示在荧光屏上的图像就是样品表面形貌的真实写照。 综上所述，扫描电镜在结构和工作原理上均不同于透射电镜。如(1)扫描电镜所用样品 的制备方法简便, 不需经过超薄切片，经固定、干燥和喷金后即可；(2)扫描电镜采用的是次 级电子成像; (3)扫描电镜所观察到图像景深长, 图像富有立体感, 但只能反映出样品的表面 形貌; (4)图像的放大倍率在很大范围内是连续可变的(101~105×);(5)样品的辐射损伤及污染 程度小等。但与透射电镜相比，扫描电镜又存在有其不可逾越的局限性，如(1)分辨率还不 够高; (2)无法显示样品内部的详细结构等。为此，近年来出现了一种新的电镜技术-冰冻蚀刻 技术(freeze etching)，利用“复膜(replica)”在透射电镜下进行观察, 既可观察到样品的内部 结构, 又可观察到富有立体感的图像, 还提高了分辨率