5.1.1工作原理 扫描电子显微镜景深与束发散度的关系 1入射电子束， 入射电子束 B 样品平面1一一 样品平面1 样品平面2一 样品平面25.1.1 工作原理 扫描电子显微镜景深与束发散度的关系