第4页 X射线光电子能谱(XPS,全称为X-ray e Photoelectron Spectroscopy)是一种基于光电 ionization 效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物 potential 质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行 N 能量分析而获得的一种能谱。 M 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它 还有一个名称，即化学分析电子能谱(ESCA, 全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)第 4 页 X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电 效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物 质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行 能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它 还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA， 全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）