·442· 北京科技大学学报 2003年第5期 (XRD)确定，采用CuK,辐射，波长为0.154nm.表 面轮廓和表面粗糙度用表面轮廓仪测量.金刚石 膜与硬质合金衬底的附着力用压痕试验法测试， 在HR-1500洛氏硬度计上进行，误差为0.1HRC, 最大载荷1.5kN. SE725536 2结果及讨论 2.1表面组成相及去钴深度 CoK:132 为了确定混合处理基体表面组织组成相，对 混合处理的试样基体表面进行了X射线衍射分 析，结果如图1所示. 通过对衍射谱的标定，经混合处理的试样， 8 1624324048 56 距表面距离/m 试样的表面X射线能谱分析结果如图2所示.可 图3混合处理试样断口的X射线能谱线扫描(C0K) 以看出，试样表面没有发现Co的存在，只有W Fig.3 Cross section EDS line-scan of pretreated samples (该能谱仪采用铍窗，探测不到Na"以下的轻元 素)，所以通过两步混合处理能有效地去除硬质 合金表面的Co. 图3为经混合处理试样断口的CoK,X射线 能谱线扫描分析.可以看出，经混合处理后，距表 面约16m深度范围内Co相被刻蚀掉，并出现了 一些比较大的孔洞. 2,2试样处理前后的表面形貌及粗糙度 (a)原始试样表面形貌 图4为原始试样和混合处理试样的扫描电镜 照片.原始样经过磨床加工，表面比较平整，只有 一些比较均匀磨痕：而混和处理试样的基体表面 wc (b)混合处理试样表面形貌 FL 图4试样处理前后的表面形貌 Fig.4 Surface morphologies and roughness of sample 0 20 40 80100 01() which before and after pretreatment 图1混合处理试样基体表面X射线衍射谱 形貌起伏较大，能够看到Co和WC被不同程度 Fig.1 XRD pattern of pretreated substrates 刻蚀形成的凹坑，这也就是说，基体表面发生了 明显的粗化. 图5是试样处理前后的表面轮廓图.从轮廓 图可以更清晰地看出，经混和处理后，试样表面 明显被粗化，试样处理前后其表面平均粗糙度 Ra分别为0.031m和0.507μm. Co 如 2.3硬质合金刀片CVD金刚石涂层 4.885 9.771 14.65619.000 为了说明混合处理技术对涂层沉积的影响， E/keV 笔者分别对未处理和已处理试样沉积的金刚石 图2混合处理YG6铣刀片表面能谱成分图 涂层进行了SEM,Raman和压痕实验研究.如图 Fig.2 EDS pattern of pretreated substrates 6~8所示.可以看出，硬质合金刀片不进行表面去一 北 京 科 技 大 学 学 报 年 第 期 娜粼 确 定 ， 采 用 舀辐 射 ， 波 长 为 表 面 轮 廓 和 表 面粗 糙 度 用 表 面 轮廓 仪 测 量 金 刚石 膜 与 硬 质 合 金 衬 底 的 附着 力 用 压 痕试 验 法 测 试 ， 在 ， 洛 氏硬 度 计 上 进 行 ， 误 差 为 ， 最 大 载 荷 犷鬓穿立瓷套 结 果 及 讨 论 表 面 组 成相 及 去 钻 深 度 为 了确 定混 合 处 理 基 体表 面 组 织 组 成 相 ， 对 混 合 处 理 的试 样 基 体 表 面 进 行 了 射 线 衍 射 分 析 ， 结 果 如 图 所 示 通 过 对 衍 射 谱 的标 定 ， 经 混 合 处 理 的试 样 ， 试 样 的表 面 射 线 能谱 分 析 结 果 如 图 所 示 可 以看 出 ， 试 样 表 面 没 有 发 现 的存 在 ， 只 有 该 能谱 仪 采 用 被 窗 ， 探 测 不 到 砂 以下 的轻 元 素 所 以通 过 两 步 混 合 处 理 能 有 效 地 去 除 硬 质 合 金 表 面 的 图 为 经 混 合 处 理 试 样 断 口 的 射 线 能谱线扫描 分析 可 以看 出 ， 经 混 合 处 理后 ， 距 表 面 约 林 深 度 范 围 内 相 被 刻 蚀 掉 ， 并 出现 了 一 些比较 大 的孔 洞 试 样 处 理 前 后 的表 面 形 貌 及 粗 糙 度 图 为原始试 样 和 混 合 处 理 试 样 的扫 描 电镜 照 片 原 始样 经 过 磨 床加 工 ， 表 面 比较平 整 ， 只 有 一 些 比较 均 匀 磨痕 而 混 和 处 理试样 的基 体 表 面 犷一丫 一 、 馨藉 任匕旦些三二三三 、 人 心偏入尸 距 表 面 距 离 林 图 混 合 处 理 试 样 断 口 的 射 线 能谱 线 扫 描 凡 · 一 原始 试样 表 面 形 貌 侧 燃 图 混 合 处 理 试样 基 体表 面 射 线 衍射 谱 塑 燃 图 混 合处 理 铣 刀 片表 面 能谱 成分 图 混 合 处理 试 样 表 面 形 貌 图 试 样处 理 前后 的表 面形 貌 · 形 貌 起 伏 较 大 ， 能够 看 到 和 被 不 同程度 刻 蚀 形 成 的 凹 坑 ， 这 也 就 是 说 ， 基 体 表 面 发 生 了 明显 的粗 化 图 是 试 样 处 理 前 后 的表 面 轮 廓 图 从 轮廓 图可 以更 清 晰地 看 出 ， 经 混 和 处 理 后 ， 试 样 表 面 明显 被 粗 化 试 样 处 理 前 后 其 表 面 平 均 粗 糙 度 分 别 为 娜 和 林 硬 质 合 金 刀 片 金 刚 石 涂 层 为 了说 明混 合 处 理 技 术 对 涂 层 沉 积 的影 响 ， 笔 者 分 别 对 未 处 理 和 己 处 理 试 样 沉 积 的金 刚 石 涂 层 进 行 了 ， 和 压 痕 实验 研 究 如 图 一 所 示 可 以看 出 ， 硬 质 合 金 刀 片 不进 行 表 面 去