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7.2.1概念 98 无机半导体气体传感器是利用无机半导体气敏材料同待测气体接触, 引发半导体性质变化,以检测特定气体的成分及其浓度。 洁净的空气 氧化锡 氧化铝基板 加热器 电池 电子科技大学敏席材料与传商器课程组 制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 7.2.1 概念 无机半导体气体传感器是利用无机半导体气敏材料同待测气体接触, 引发半导体性质变化,以检测特定气体的成分及其浓度
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