油结”论 1,化学气相沉积Ti(C,)过程中，各种参数对涂层厚度和硬度都有影响，沉积温度 的升高，沉积时间的加长，TiC(,与C。H。Cl蒸发温度的升高对提高涂层的层深都有利，但 过高的温度及过长的时间，不仅是没有必要的，而且是有害的。 2.沉积时炉中加入的海绵钛，在高温可部分将TiCl还原为TiC(s,因而可以降低沉 积Ti(C,N)所需要的温度，并保证得到纯的Ti(C,N)涂层。 3.Ti(C,N)涂层，具有很高的硬度(Hv。.o=2000~3000kg/mm2),良好的抗 磨耗性能，C1z钢模具上沉积一层(<10微米)Ti(C,N),可以数倍的提高其使用寿命。 4，涂复后的工件，采用冷保护气体的强制性冷却，以解决其它淬火方法造成的涂层部 分或全部的被破坏，以及模具本身在淬火过程中的变形与开裂，达到较满意的效果。 本研究工作得到本院金相教研室陈景榕、马士才同志帮助选择热处理制度，刘舞怡同志 帮助进行x射衍射分析，金物教研室姚玉琴同志帮助进行扫描电镜分析。包头电机厂夏向东 同志为实验工作提供样品，并联系寿命实验工厂等，特此致谢 主要文献 (1)高耐磨及装饰用TiN与TiC涂层Metall sup 1974 〔2)用化学气相沉积法获得碳、氮化钛Thin So1idFi1m1979vo14041-47 〔3)铁上TiC层的化学气相沉积Jourmal of The Electiochem Society1967 vol114 (D.R.Stull The chemical thermlodynamics of organic compounds 1969 (5)C.L.Yaues Physical properties 1980 等 〔6)西德专利1065442·(1960) 〔7)在钢和铁的表面涂复TiC MuToM1979Q10 (8〕I.Barin等：Thermochemical properties of inorganic Substances 1973 169结 论 ， 化学 气相 沉积 ， 过 程 中 ， 各种 参数对涂层厚 度和硬度都有影 响 ， 沉积 温 度 的 升高 ， 沉积 时 间的加 长 ， ‘ 与 。 。 蒸 发温 度的 升高对 提 高涂 层 的层 深都有利 ， 但 过 高 的温度 及过 一 长的时 间 ， 不 仅 是没 有 必 要 的 ， 而且 是有害 的 。 沉 积 时炉 中加入 的海 绵钦 ， 在 高温 可部 分将 ‘ 还原为 。 ， 因而可 以 降低沉 积 ， 所需要 的温 度 ， 并保 证得 到 纯 的 ， 涂 层 。 ， 涂层 ， 具有 很 高的 硬 度 。 。 。 二 ， 良好 的 抗 磨 耗性 能 ， ， 钢模具 上沉 积 一 层 微米 ， ， 可 以数 倍 的提 高其 使用寿 命 。 涂 复后 的 工件 ， 采 用冷 保 护气 体 的强 制性 冷却 ， 以 解决 其它 淬火方 法造成 的涂层 部 分 或 全部 的被破坏 ， 以 及模具本身在淬 火过 程 中的变形 与开裂 ， 达到较 满意 的效果 。 本研 究 工作得到本院金相教研 室陈景榕 、 马士才同志帮助选择热处理 制度 ， 刘 慕怡 同志 帮助进 行 射 衍射 分析 ， 金物教研 室姚 玉琴 同志 帮助进 行 扫描 电镜分析 。 包头 电机厂 夏 向东 同志 为实验 工作提供样品 ， 并联系寿 命实验 工广等 ， 特此 致谢 〔 〕 〔 〕 〔 〕 〔 吐 〕 护、 、、护、 〔 主 要 文 献 高耐磨 及装饰用 与 涂层 用 化学 气 相沉 积 法 获得 碳 、 氮化钦 一 铁 上 层 的化学气 相沉 积 等 一 ‘ ’ 西德 专利 在钢 和 铁 的表 面 涂复 地 等