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第一部分光电编码器 2、角度编码器 6标尺光栅G 目 动 线路 2 指示光程G 光栅检测装置基本结构示意图 1—光源,2—透镜,3指示光栅,4光电元件, 5驱动电路,6标尺光栅第一部分 光电编码器 光栅检测装置基本结构示意图 1—光源, 2—透镜, 3—指示光栅, 4—光电元件, 5—驱动电路,6—标尺光栅 2、角度编码器
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