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、洁净室的密封技术 洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一。因此,在洁净室设计时 就应该选择先进的密封技术和可靠的密封方法,一般常用的密封方法有 1.接触填料密封 密封用填料有固体密封垫,(如氯丁橡胶板、闭孔海绵橡胶板等)和液体密封胶(如:硅 橡胶、氯丁橡胶、天然橡胶)。 固体密封垫一般采用螺栓机械压紧,橡胶板的压缩量为30%~50% 液体密封胶时用填充和粘附方法密封。 2液槽刀口密封 在槽型框架中注入一定高度的密封液体,高效过滤器的刀口插入密封液中,使两侧的空气 道路受阻达到密封目的 该方法一般用于100级、10级和更高级别洁净度的饿洁净室密封 3负压漏泄密封 这种“密封”方法是利用正压空间泄漏的空气。人为疏导到工作区外的负压空间,确保工 作区不受污染,一般用于小规模的洁净室密封,如负压顶棚二、洁净室的密封技术 洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一。因此,在洁净室设计时 就应该选择先进的密封技术和可靠的密封方法,一般常用的密封方法有: 1.接触填料密封 密封用填料有固体密封垫,(如氯丁橡胶板、闭孔海绵橡胶板等)和液体密封胶(如:硅 橡胶、氯丁橡胶、天然橡胶)。 固体密封垫一般采用螺栓机械压紧,橡胶板的压缩量为 30%~50%。 液体密封胶时用填充和粘附方法密封。 2.液槽刀口密封 在槽型框架中注入一定高度的密封液体,高效过滤器的刀口插入密封液中,使两侧的空气 道路受阻达到密封目的。 该方法一般用于 100 级、10 级和更高级别洁净度的饿洁净室密封。 3.负压漏泄密封 这种“密封”方法是利用正压空间泄漏的空气。人为疏导到工作区外的负压空间,确保工 作区不受污染,一般用于小规模的洁净室密封,如负压顶棚
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