(二)到 三种基本类型: ●变极距(变间隙)(6)型 ●变面积型(S)型 ●变介电常数(r)型 表5-1列出了电容式传感器的三种基本结构形式 ●位移:线位移和角位移两种。 ●极板形状:平板或圆板形和圆柱(圆筒)形,虽还有球 面形和锯齿形等其他的形状,但一般很少用,故表中 未列出 其中差动式一般优于单组(单边)式的传感器。它灵 敏度高、线性范围宽、稳定性高（二） 类型 三种基本类型： ⚫变极距(变间隙)(δ)型 ⚫变面积型(S)型 ⚫变介电常数(εr )型 表5-1列出了电容式传感器的三种基本结构形式。 ⚫位移：线位移和角位移两种。 ⚫极板形状：平板或圆板形和圆柱(圆筒)形，虽还有球 面形和锯齿形等其他的形状，但一般很少用，故表中 未列出。 其中差动式一般优于单组（单边）式的传感器。它灵 敏度高、线性范围宽、稳定性高