源极 控制慑、漏极 源极控制极、漏极 四y 控制栅 N 隧道 浮栅 浮栅 浮栅源 P型衬底 P型衬底 图82.3隧道MOS管剖面 浮栅无电子浮栅有电子 结构示意图 W,(字线 D T v T 位线 图8.2.2叠栅MOS管 (a)结构及符号(b)浮栅上累积电子与开启电压的关系 E2PROM EPROME EPROM 2PROM