3 纳米膜材料 纳米薄膜是指尺寸在纳米量 级的晶粒（或颗粒)构成的薄膜 以及每层厚度在纳米量级的单层 或多层膜。3 纳米膜材料 纳米薄膜是指尺寸在纳米量 级的晶粒（或颗粒）构成的薄膜 以及每层厚度在纳米量级的单层 或多层膜