XPS谱图中的元素鉴别 40 OKLL Auger 32 Cu 2p 24 Cu LMM Auger 16 NIs CI2p Cu3s Cu3p 1000 800 er(ev 400 200 中国绅学我术大学 niversity of Science and Technology of China XPS谱图中的元素鉴别 Cu 2p O KLL Auger O 1s N 1s C 1s Cu LMM Auger Cu 3p Cu 3s Cl 2p