1.1.2表面技术分类 按沉积物尺寸分类) ①原子沉积物 原子在基体上凝聚 生核、长大、成膜 如电鍍、PV0、CD氮化钛刀具 CVD TC4+2+N2→TN()HC1.1.2表面技术分类 (按沉积物尺寸分类) ①原子沉积物 原子在基体上凝聚, 生核、长大、成膜. 如电镀、 PVD 、 CVD CVD氮化钛刀具 TiCl4+H2+N2→TiN(s)+HCl