掺杂剂、石英坩埚——清洁处理—装炉——抽真空 加热熔化——单晶生长(润晶、缩颈、放肩、等径生 长、拉光)——降温出炉——性能测试③控制的参数:拉速和加热功率④特点:生产规模大、自动化生产、单晶质 量高 2)杂质掺入的方法:共熔法:纯材料与杂质一起放入坩锅熔化。投杂法:向已熔化的材料中加入杂质 控制方法:①.直拉法单晶纵向电阻率均匀性的控制,变速拉晶法:先用大拉速,再用小拉速:双坩锅法(连通坩 锅法,浮置坩锅法)②.径向电阻率均匀性的控制:固液界面的平坦度的影响,小平面效应的影响。掺杂剂、石英坩埚——清洁处理–––––装炉——抽真空———加热熔化——单晶生长（润晶、缩颈、放肩、等径生 长、拉光）——降温出炉——性能测试③控制的参数：拉速和加热功率④特点：生产规模大、自动化生产、单晶质 量高 2）杂质掺入的方法：共熔法：纯材料与杂质一起放入坩锅熔化。投杂法：向已熔化的材料中加入杂质 控制方法：①.直拉法单晶纵向电阻率均匀性的控制，变速拉晶法：先用大拉速，再用小拉速；双坩锅法（连通坩 锅法，浮置坩锅法）②. 径向电阻率均匀性的控制：固液界面的平坦度的影响，小平面效应的影响