实用XPS定量方法 实用XP$定量方法可以概括为标样法，第一性原理模 型和元素灵敏度因子法。 标样法需制备一定数量的标准样品作为参考，且标样 的表面结构和组成难于长期稳定和重复使用，故一般 实验研究均不采用。 ,目前XPS定量分析多采用元素灵敏度因子法。该方法 利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相 对谱线强度，求得各元素的相对含量。 中国绅学我术大字 University of Science and Technology of China 实用XPS定量方法  实用XPS定量方法可以概括为标样法，第一性原理模 型和元素灵敏度因子法。  标样法需制备一定数量的标准样品作为参考，且标样 的表面结构和组成难于长期稳定和重复使用，故一般 实验研究均不采用。  目前XPS定量分析多采用元素灵敏度因子法。该方法 利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相 对谱线强度，求得各元素的相对含量