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第一章正交试验基本方法 >(2)简单比较法 变化一个因素而固定其它因素,如首先固定B、C于B1 C1,使A变化之,则 BICI A3(好结果) >如果得出结果A3最好,则固定A于A3,C还是C1,使B变 化,则 BI B2(好结果) B3 >得结果B2最好,则固定B于B2,A于A2,使C变化,则: A3B2 C2(好结果) C3 >试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2 School of microelectronics and solid-State ElectronicsSchool of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢(2)简单比较法 ➢变化一个因素而固定其它因素,如首先固定B、C于B1、 C1,使A变化之,则: ➢如果得出结果A3最好,则固定A于A3,C还是C1,使B变 化,则: ➢得结果B2最好,则固定B于B2,A于A2,使C变化,则: ➢试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 A1 B1C1 A2 A3(好结果) B1 A3C1 B2(好结果) B3 C1 A3B2 C2 (好结果) C3
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