(3)真空线技术 通过抽真空和充惰性气体严格地排除装置中的空气的 一种技术。 用于真空过滤、真空线上的气相色谱、产物的低温分 馏、气体和溶剂的贮存、封管反应等。且已成功地用于氢化 物、卤化物和许多其他挥发性物质的合成与操作。 金属与不饱和烃反应是使用真空线操作的典型例子。 另一个使用真空线操作的例子是低压化学气相淀积 (LPCVD),此技术已广泛用于半导体材料如SiO2、GaAs等 的晶体生长和成膜。 (3) 真空线技术 通过抽真空和充惰性气体严格地排除装置中的空气的 一种技术。 用于真空过滤、真空线上的气相色谱、产物的低温分 馏、气体和溶剂的贮存、封管反应等。且已成功地用于氢化 物、卤化物和许多其他挥发性物质的合成与操作。 金属与不饱和烃反应是使用真空线操作的典型例子。 另一个使用真空线操作的例子是低压化学气相淀积 (LPCVD)，此技术已广泛用于半导体材料如SiO2、GaAs等 的晶体生长和成膜