点击下载:复旦大学:《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第九章 集成电路工艺简介——光子学器件中用到的微电子工艺(部分有源和无源器件用到的工艺)
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光子学器件与工艺 主讲:张荣君 E-mail: richang(fudan.edu.cn 复旦大学信息学院 光科学与工程糸 2008,9-2009,1 zhang@fudan.edu.cn复旦大学张荣君rjzhang@fudan.edu.cn 复旦大学 张荣君 光子学器件与工艺 复旦大学信息学院 光科学与工程系 2008,9 - 2009,1 主 讲:张荣君 E-mail:rjzhang@fudan.edu.cn
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