和光学法无法解决这个问题。应用计算机技术和扫描技术的激光反射散射比法测量表面粗糙 度能满足不接触、快速、连续和实时在线测量的要求，为此研制了LSA-1型激光扫描粗糙度 测量仪。经本测量仪在北京第二量具厂，第二纺织机械厂等儿个单位进行的测量试验来看， 这种测量仪可对R>0.22μm(V9以上)的工件加工表面进行不接触的快速测量。而且本测 量仪依据的原理和采用的先进技术原则上可移植到在线测量上，当然尚有一些问题有待今后 改进和解决。 1激光散射测量表面粗糙度的原理和实验依据 当激光束以一定的入射角照射到经过研磨或轧制加工的金属表面时，除一部分被吸收 外，大部分被反射和散射。如在反射方向放置一观察屏，屏上将出现反射光斑（核心亮 图1不时粗糙度表面的图谱 Fig.1 Atlas for differential surtace roughness 斑)，在它的两侧有许多小的光斑（散斑）形成的光带，反射光核和散射光带形成了与表面 粗糙度有关的图谱，图1为不同粗糙度等级表面的相应图谱。由图看出，随着粗糙度级别的 提高，反射光斑越来越强，而散射光带越来越弱，光带的宽度也随之变容，反射光和散射光 的比随粗糙度级别的提高而增大。 V9以上不同粗糙度表面图谱的差别是很大的，但V9以下，镜面反射光点已经消失，只 有形状类似的散射光带，图谱的差别已不明显，因此反射散射比法适于测量高粗糙度的工作 表面。 根据上述原理，对反射散射比法测量表面粗糙度的各种测量条件和因素进行的较系统的 实验和分析表明，虽然入射角小于某一临界角后，反射散射比R和粗糙度R,不是单值关系。但 在相当大的入射角范围内，尤其是R。<0,24m范围内，R.不但是R的单值函数，而且R.随R 变化的反应比较灵敏。因此，对于光滑表面，该法是一种简单可靠的测量表面粗糙度的方法。 它对接收距离、光源功率、环境条件都无苛刻的要求1，这就为研制相应测量装置提供了 有力的实验依据。 376和光学法无法解决 这 个 问题 。 应 用计算机 技术 和扫描 技术的激光反射散 射 比法测 量表面粗糙 度能 满足不接 触 、 快速 、 连续和 实 时在线测 量的要 求 ， 为此 研制 了 一 型 激 光 扫描 粗糙 度 测 量仪 。 经 本测 量仪 在北京 第二 量具厂 ， 第二 纺织 机械厂 等几 个单位进 行的测 量 试验 来 看 ， 这种测 量 仪可对 声 以上 的工件 加 工 表面进 行 不 接 触 的 快速测 量 。 而且本测 量仪 依据 的原理 和采 用 的 先进技术原 则上可移植到 在线测 量 上 ， 当然 尚有一 些 问题有待今后 改 进和解决 。 激 光散射测量表面粗糙度 的 原理和 实验依据 当激光 束 以一 定的人 射 角照射 到经过 研磨或轧 制 加工 的 金属 表 面 时 ， 除一 部 分 被 吸 收 外 ， 大部分被 反射 和散射 。 如 在反射 方向放置一观 察屏 ， 屏 上将 出 现 反 射 光 斑 核 心 亮 图 不 同粗糙 度表 面 的图 谱 斑 ， 在它 的 两侧 有许多小 的光斑 散斑 形 成的光带 ， 反射光核和 散射光带形成 了与表面 粗糙度 有关 的 图谱 ， 图 为不 同粗糙度等级 表面的相 应 图谱 。 由图看出 ， 随 着粗糙度级别 的 提 高 ， 反 射光斑 越来 越强 ， 而 散 射 光带越来越 弱 ， 光带 的 宽度也 随 之变窄 ， 反 射光 和散射 光 的 比随粗 糙 度级 别的 提 高而增大 。 以上不 同粗糙 度 表面 图谱的差别是 很大 的 ， 但 以下 ， 镜 而反 射光 点 已经 消失 ， 只 有形 状 类似 的散射 光 带 ， 图谱的 差别 已不 明显 ， 因此 反射 散射 比 法适于测 量 高粗糙度的工作 表面 。 根据 上述原 理 ， 对反射 散射 比 法测 量表 面粗糙度 的 各种 测 量 条件和因 素进 行的较 系 统的 实验 和分析 表 明 ， 虽 然人 射 角小于 某一 临界 角后 ，反 射 散射 比 和粗 糙度 。 不是单 值关系 。 但 在相 当大 的入射角范 围 内 ， 尤 其是 。 声 范 围 内 ， 。 不 但是 的单 值函数 ， 而且 。 随 变化的反应 比较 灵敏 。 因此 ， 对于 光 滑 表面 ，该 法是一种 简单可靠 的测 量表面粗 糙度的方法 。 它 对接 收距离 、 光源 功 率 、 环 境 条件都 无苛 刻的要 求 〔 ’ 〕 ， 这 就为研 制相应测 量 装 置 提 供 了 有 力的 实验 依据