电子种技女学光电科学与工程学院 SCHOOL OF OPTOELECTRONIC SCIENCE AND ENGINEERING OF UESTC 第2章薄膜技术 目录 简介 2.1真空热蒸发镀膜技术 2.2溅射镀膜技术 2.3化学气相沉积技术 2.4光刻技术 2.5刻蚀第2章 薄膜技术 目录 简介 2.1 真空热蒸发镀膜技术 2.2 溅射镀膜技术 2.3 化学气相沉积技术 2.4 光刻技术 2.5 刻蚀