点击下载:中国科学技术大学:《现代薄膜技术》课程教学资源(PPT课件)第三章 真空技术
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应用: 薄膜生长(分子束外延,蒸发,溅射,化学 气相沉积,…) 薄膜表征(扫描电镜,透射电镜,光电子能 谱,扫描隧道显微镜,…) 应用: 薄膜生长(分子束外延,蒸发,溅射,化学 气相沉积,…) 薄膜表征(扫描电镜,透射电镜,光电子能 谱,扫描隧道显微镜,……)
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