材料工程导论1课程论文 F11051015110309066孙鑫字 领域 材料 器件 用途 微电子 GaAs、InP 超高速IC 电脑 GaAs FET 携带电话 光电子 GaAs、InP、Sb、InAs LD 光通讯 GaAs 红外LED 遥控耦合器 GaP、GaAs、GaAsP、GaAlAs、InGaAlP LEP 出外显示器 CdTe、CdZnTe、HgCdTe 一 热成像仪 InSb、CdTe、HgCdTe、PbS、PbZnTe 一 红外探测仪 GaAs、InP、GaSb 太阳能电池 1.2辐射固化材料在电子信息产业中的应用 辐射固化是一种借助于能量照射实现化学配方（涂料、油墨和胶粘剂）由液 态转化为固态的加工过程。事实上，辐射固化在印制电路板、大规模集成电路、 数码相机、光盘(CD一ROM,DVD)、移动电话、液晶显示器与等离子显示器 等制造业中的应用，已是一种不可取代的技术，可完成产品制作工艺中的各种涂 装、印刷、涂饰和胶粘等任务。 1.2.1辐射固化材料在微细加工技术中的应用 辐射固化技术以其快速的固化性、无溶剂性、低成本性、良好的加工性等特 点，尤其是可图形加工的特点，使其已成为微电子行业中微细加工技术（光刻技 术)的重要加工手段。 随着高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的开发，集成电路与器件的 特征尺寸越来越精细，加工尺寸已进入亚微米、百纳米直至纳米级。微细加工技 术（即光刻技术）是人类迄今为止所能达到的精度最高的加工技术，辐射敏感材 料（即光刻胶或称光致抗蚀剂）是其重要支撑条件之一。光刻胶可分为正胶和负 胶两大类，其中负胶以光固化和辐射固化材料为主，比较典型的品种有：聚乙烯 醇肉桂酸酯、聚肉桂叉丙二酸乙二醇酯、环化橡胶等。 第3页共11页材料工程导论Ⅰ课程论文 F1105101 5110309066 孙鑫宇 第 3 页 共 11 页 领域 材料 器件 用途 微电子 GaAs、InP 超高速 IC 电脑 GaAs FET 携带电话 光电子 GaAs、InP、Sb、InAs LD 光通讯 GaAs 红外 LED 遥控耦合器 GaP、GaAs、GaAsP、GaAlAs、InGaAlP LEP 出外显示器 CdTe、CdZnTe、HgCdTe — 热成像仪 InSb、CdTe、HgCdTe、PbS、PbZnTe — 红外探测仪 GaAs、InP、GaSb — 太阳能电池 1.2 辐射固化材料在电子信息产业中的应用 辐射固化是一种借助于能量照射实现化学配方（涂料、油墨和胶粘剂）由液 态转化为固态的加工过程。事实上，辐射固化在印制电路板、大规模集成电路、 数码相机、光盘（CD－ROM，DVD）、移动电话、液晶显示器与等离子显示器 等制造业中的应用，已是一种不可取代的技术，可完成产品制作工艺中的各种涂 装、印刷、涂饰和胶粘等任务。 1.2.1 辐射固化材料在微细加工技术中的应用 辐射固化技术以其快速的固化性、无溶剂性、低成本性、良好的加工性等特 点，尤其是可图形加工的特点，使其已成为微电子行业中微细加工技术（光刻技 术）的重要加工手段。 随着高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的开发，集成电路与器件的 特征尺寸越来越精细，加工尺寸已进入亚微米、百纳米直至纳米级。微细加工技 术（即光刻技术）是人类迄今为止所能达到的精度最高的加工技术，辐射敏感材 料（即光刻胶或称光致抗蚀剂）是其重要支撑条件之一。光刻胶可分为正胶和负 胶两大类，其中负胶以光固化和辐射固化材料为主，比较典型的品种有：聚乙烯 醇肉桂酸酯、聚肉桂叉丙二酸乙二醇酯、环化橡胶等