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三、非制冷红外探测器 /986 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (1)热绝缘结构的重要性 三种可能的热传递机制:传导、对流和辐射 Radiations A.传导对器件的不利影响: ,热从敏感区沿着其支撑流入衬底,导致热量损失 若敏感区相邻,热可直接从某一像元的敏感区进 入邻近像元(横向热流),这将降低图像的分辨 率(通常称为串音) B.对流的不利影响: >热量通过对流被衬底、封装外壳等带走。 Conduction Convection 电子科技大学敏感材料与传感器课程组 制作三、非制冷红外探测器 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (1) 热绝缘结构的重要性 三种可能的热传递机制:传导、对流和辐射 A.传导对器件的不利影响: Ø 热从敏感区沿着其支撑流入衬底,导致热量损失 Ø 若敏感区相邻,热可直接从某一像元的敏感区进 入邻近像元(横向热流),这将降低图像的分辨 率(通常称为串音) B.对流的不利影响: Ø热量通过对流被衬底、封装外壳等带走
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