4影响沉积膜质量的因素 (D)沉积温度T沉积: T沉积是影响沉积质量的主要因素: T,沉积速度尸,沉积物愈致密,结构完善; T沉根据沉积物的结晶温度,并兼顾基体的耐热性决定。 例如: AC3+CO2+H2100g,反应不完全→yA2O2>13℃→ a-AO3(多晶)150150-AM2O单晶膜)4.影响沉积膜质量的因素 （l）沉积温度T沉积： T沉积是影响沉积质量的主要因素： T↗，沉积速度↗，沉积物愈致密，结构完善； T沉积根据沉积物的结晶温度，并兼顾基体的耐热性决定。 例如： AlCl3+CO2+H2 <1100℃，反应不完全→ −Al2O3 > 1150℃→ −Al2O3 (多晶) 1500～1550℃→−Al2O3 (单晶膜)