6 3. Water General standard 超純水與一般自來水的比較(例子是台北自來水) 自來水 超純水 電阻,M9一CM 0.004 18.2 顆粒(Pcs/m1),≡0.1μm 104~106 顆粒(Pcs/m1),≡0.05μm 顆粒(Pcs/ml),≡0.03μm <5 細菌,con/ml 104~10 <0.0001 總有機碳, ppb as toC 1,0003,000 <1 溶氧, ppb as02 8,000 <1 矽化物, ppb as sio 10,00020,000 <0. 金屬,ppb 200.000 <1 STDK6 3. Water General Standard 超純水與一般自來水的比較 (例子是台北自來水) 自來水 超純水 電阻, MΩ－CM 0.004 ＞18.2 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.1μm 104~106 － 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.05μm － － 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.03μm － ＜5 細菌, con/ml 104~106 ＜0.0001 總有機碳, ppb as TOC 1,000~3,000 ＜1 溶氧, ppb as O2 8,000 ＜1 矽化物, ppb as SiO2 10,000~20,000 ＜0.1 金屬, ppb 200,000 ＜1