■氢气→Pd栅膜表面→分解氢原子→被Pd 栅膜和SO2界面吸收→Pd电子功函数 →阈值电压U改变。 设无氢气时的阈值电压为Uo; 有氢气时的阈值电压为Ua, 则反应氢气浓度变化△Ur= Uta- UTO(6-13) 测量环境中有无氧气不同,见书中式6-14 △UM为最大阈值变化量◼ 氢气→Pd栅膜表面→分解氢原子→被Pd 栅膜和SiO2界面吸收→Pd电子功函数↓ →阈值电压UT改变。 ◼ 设无氢气时的阈值电压为UT0; 有氢气时的阈值电压为Uta, 则反应氢气浓度变化△UT= Uta- UT0 (6-13) *测量环境中有无氧气不同，见书中式6-14 △UM为最大阈值变化量