82.3低温泵 ◆1原理 利用低温表面将气体冷凝以实现抽气的 种泵 用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如 20K)以下,抽气面就能大量冷凝沸点温度 比该抽气面温度高的气体,产生很大的抽 气作用。8.2.3 低温泵 Š 1 原理 – 利用低温表面将气体冷凝以实现抽气的一 种泵 – 用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如 20K)以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度 比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽 气作用