故测量时必须选用白光光源,这样容易确定零级干涉条纹.其零级条纹两侧是彩色的,便 可明确测定条纹移动距离,白光的平均波长取2=540nm 3 8 1.真空室(被抽容器;2.电离规管 3.高阀 4.油扩散泵; 5.磁力充气阀 6.热偶规管; 7.低阀(前级阀) 8.储气桶; 9.磁力充气截止阀; 10.机械泵 图6真空系统 【实验仪器】 1.小型真空薄膜制备系统 小型真空薄膜制备系统由真空镀膜室(钟罩)、真空系统以及镀膜时使电极加热、工件 回转、电离轰击的电器系统等部分组成 (1)真空系统 JK-100A型真空机组如图6所示,高阀连接扩散泵和真空室,扩散泵的油被加热后 有三种情况下此阀不能打开:①真空度低于10Pa时,②低阀位于抽出状态,③充气阀打 真空测量系统是HY9940-1B双热偶复合真空计,它有两个热偶真空计和一个电离真空 计,两个显示窗口.其中一个热偶真空计测量机械泵和扩散泵之间的真空度,由一个标志 为“热偶计”的显示窗显示.另一个热偶真空计和电离真空计构成复合真空计测量真空室 中的真空度,由另一个标志为“复合计”的显示窗显示.复合计的特点是由热偶计来控制 电离计的启动,只要把控制开关放在自动启动,可保证电离计不被烧坏 为防止扩散泵内返流的油蒸气分子跑到钟罩内造成污染,扩散泵上端一般装有用水冷 却的挡油器 (2)真空镀膜室故测量时必须选用白光光源，这样容易确定零级干涉条纹．其零级条纹两侧是彩色的，便 可明确测定条纹移动距离，白光的平均波长取λ = 540 nm． 1. 真空室(被抽容器); 2. 电离规管; 3. 高阀; 4. 油扩散泵; 5. 磁力充气阀; 6. 热偶规管; 7. 低阀(前级阀); 8. 储气桶; 9. 磁力充气截止阀; 10. 机械泵 图 6 真空系统 【实验仪器】 1．小型真空薄膜制备系统 小型真空薄膜制备系统由真空镀膜室（钟罩）、真空系统以及镀膜时使电极加热、工件 回转、电离轰击的电器系统等部分组成． （1）真空系统 JK-100A型真空机组 如图 6 所示，高阀连接扩散泵和真空室，扩散泵的油被加热后， 有三种情况下此阀不能打开：①真空度低于 10-1 Pa时，②低阀位于抽出状态，③充气阀打 开时． 真空测量系统是 HY9940-1B 双热偶复合真空计，它有两个热偶真空计和一个电离真空 计，两个显示窗口．其中一个热偶真空计测量机械泵和扩散泵之间的真空度，由一个标志 为“热偶计”的显示窗显示．另一个热偶真空计和电离真空计构成复合真空计测量真空室 中的真空度，由另一个标志为“复合计”的显示窗显示．复合计的特点是由热偶计来控制 电离计的启动，只要把控制开关放在自动启动，可保证电离计不被烧坏． 为防止扩散泵内返流的油蒸气分子跑到钟罩内造成污染，扩散泵上端一般装有用水冷 却的挡油器． （2）真空镀膜室 - 27 -