2.维普《中文科技期刊数据库》检索系统 传统检索界面概述 检索功能区 同义词同名作著期利事时年3-0选辉当雨记来国贝 索入口 检索式传感器世界 模糊检刻写次检索帮助在线帮助 中刊库分类导航 世下末页跳转页共检中140条14页标记0条 凸《中刊库》分类导航[A月号 题名 作着 出版年 经济管理 5090型手持式光谱仪 传感器世界 教育科学 微光机电系统〔MEMS)研究综述 付博[1赵月月[2] 传感器世 白图书情报 3第三届中国国际装备制造业博览会因满成功 无 传感器世界 雨成就今日辉煌一一访昆仑海岸总 自然科学 4帮赛 传感器世界 农业科学 2004韩国工厂自动化展在北京举行 传感器世界 2004 检出题录 2004年10卷10期 传影器世 -11-17 粗览区 工程技术 国际标准刊号:Iss1006-883 cH11-3736/TN 中刊库刊名导航 微光机电系统(M0E)研究综述 高级检索 分类检索 PDF全文下 付博[1赵月月[2 [1]北京理工大学光电工程系物理电子学博士在读[2]北京科技大学信息工程学院计算机科学与工程专业在读 下载、看 分类号:T29T253 全文 关键词:MEs微光机电系统微机电系統〔團Es〕光学器件微机械加工技术性能忧势光 分类导航 七盘号:2004GC90 /刊名导航/ 相关文献:主题相关参考文献引用本文 文摘:在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统 MEMS)与光学技术 的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统M0EMS)。作为一个新兴的多学科交叉 高级检索 的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MEM基本理论、方法:介绍了 MEM技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系統中引入MEMS的重 分类检索 要性;列举了一些有代表性的MEM器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件 相比的性能忧势最后描绘了MEMs技术的发展前景。 检出题录 细览区2.维普《中文科技期刊数据库》检索系统 传统检索界面概述 分类导航 /刊名导航/ 高级检索/ 分类检索 检索功能区 检出题录 粗览区 下载、看 全文 检出题录 细览区