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提要 ◆薄膜的形核理论 ◆连续薄膜的形成 ◆薄膜微观结构的形成 ◆非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 ◆薄膜的应力和附着力提 要 ◆ 薄膜的形核理论 ◆ 连续薄膜的形成 ◆ 薄膜微观结构的形成 ◆非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 ◆ 薄膜的应力和附着力
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