電子工業出社 USTRY 22.3扩散型压阻式压力传感器 (11 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔2—高压腔3—硅杯4引线5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件, 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 返 回 上一页 下一页