表1-2表面分析在材料研究中的一些应用领域 表 面 界 面 薄 膜 (直接分析) (断裂或深度剖析) 深度剖析 分凝 分凝 层间扩散 扩散 扩散 离子注入 污染 脆化 化学反应层（钝化层等） 吸附 晶际腐蚀 蒸发层 氧化 烧结 保护涂层 催化 粘结 微电子器件 摩擦与磨损 复合材料 热分解（降解） 中国绅学我术大字 University of Science and Technology of China