第三节新加工工艺 ■实现新传感器技术的手段 薄膜加工工艺 主要有蒸发、溅射和化学气相淀积。 1蒸发 条件:真空度133X102Pa以下,加热蒸 发材料。 特点:对金属,非金属和热稳定性好的化 合物,制作的膜纯度极高。第三节 新加工工艺 ◼ 实现新传感器技术的手段 一、薄膜加工工艺 主要有蒸发、溅射和化学气相淀积。 1.蒸发 条件：真空度1.33X10-2 Pa以下，加热蒸 发材料。 特点：对金属，非金属和热稳定性好的化 合物，制作的膜纯度极高