(2)薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法,在石英 或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜(厚度0.1um以下),构成 薄膜型气敏元件。 氧化锌(ZnO)薄膜型气敏元件以石英玻璃或陶瓷作为 绝缘基片,通过真空镀膜在基片上蒸镀锌金属,用铂或钯膜作 引出电极,最后将基片上的锌氧化。氧化锌敏感材料是N型半 导体,当添加铂作催化剂时,对丁烷、丙烷、乙烷等烷烃气体 有较高的灵敏度,而对H2、CO2等气体灵敏度很低。若用钯作 催化剂时,对H2、CO有较高的灵敏度,而对烷烃类气体灵敏 度低。因此这种元件有良好的选择性,工作温度在400~500℃C 的较高温度（2） 薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法, 在石英 或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜（厚度0.1 μm以下）, 构成 薄膜型气敏元件。 氧化锌（ZnO）薄膜型气敏元件以石英玻璃或陶瓷作为 绝缘基片, 通过真空镀膜在基片上蒸镀锌金属, 用铂或钯膜作 引出电极, 最后将基片上的锌氧化。氧化锌敏感材料是N型半 导体, 当添加铂作催化剂时, 对丁烷、丙烷、乙烷等烷烃气体 有较高的灵敏度, 而对H2、CO2等气体灵敏度很低。若用钯作 催化剂时, 对H2 、CO有较高的灵敏度, 而对烷烃类气体灵敏 度低。因此,这种元件有良好的选择性, 工作温度在400~500℃ 的较高温度